半导体基础系统供应商
遵守SEMI标准
产品数据

10+
OEM 客户
100+
运行设备
10+
调试工具

设备端：快速集成SEMI标准的方案，
按时交付设备

帮助设备快速集成SECS/GEM200，300功能

OEM Manufacturing Equipment

工厂端： 将设备快速集成到工厂自动化生产制造中

帮助工厂端降低设备集成成本

Factory Integration

产品速览

DLink Driver V2.0.2

支持limit monitor功能

MAT 1.0.2

支持 SEMI标准 E116

支持spooling message功能